ALD原子层沉积,分子延长等需要高浓度臭氧发生器，本文推荐2款臭氧发生器和臭氧检测仪。

一、加拿大 Atlas H30

 Atlas H30高浓度臭氧发生器，臭氧浓度超过200mg/L，臭氧检测仪为3S-J5000，量程为0-400mg/L。

二、德国BMT

臭氧管路 O3 选件包括使用臭氧气体的所有部件。它完全集成到 TFS 200 电气和软件系统中。

• 臭氧发生器 803N（BMT Messtechnik GmbH），
  臭氧产量为 8 g/h
• 包括压力调节器、转子流量计、气动脉冲阀、带 VCR（®世伟洛克）接头的不锈钢管、
  
  流量调节出口和臭氧破坏器
• 与 TFS 200 电气柜集成，用于供电
• 带通风连接的臭氧柜

请注意，Beneq 要求将气体检测和报警系统与有害气体结合使用（探测器可从 Beneq 单独购买）。

臭氧分析仪

臭氧分析仪用于测量臭氧浓度。该产品由BMT Messtechnik GmbH制造。

• 带 VCR® 的不锈钢和 PFA 管 – 以及世伟洛克接头
• 集成到 TFS 200 电气柜和控制系统中