美国MKS高浓度臭氧发生器介绍

LIQUOZON®溶解臭氧输送系统

LIQUOZON®溶解臭氧输送系统- LIQUOZON®臭氧化水输送系统具有经过现场验证的SEMOZON®臭氧产生技术，可实现臭氧气体在水中的溶解效率，控制(包括溶解臭氧浓度的闭环控制)和臭氧破坏装置，可将剩余臭氧气体安全重新转化为氧气。LIQUOZON溶解臭氧输送系统封闭在通风柜中，符合SEMI S2和CE标准。LIQUOZON HeliO3是专为太阳能应用而设计的，如清洁，表面调节和氧化物生长。该系统是臭氧和/或化学混合物(如酸与臭氧)湿处理的强大来源。LIQUOZON Stream还设计用于湿式晶圆加工，特别是在多室单晶圆工具中，其应用要求高达140 lpm的流量和115 - 25 ppm的臭氧浓度。

SEMOZON臭氧气体发生器

SEMOZON臭氧气体发生器- SEMOZON臭氧气体发生器和子系统是紧凑，高浓度，超清洁臭氧气体产生的行业标准。应用包括原子层沉积(ALD)，化学气相沉积(CVD)，清洁和水处理。SEMOZON AX8415发生器的新颖架构和电池设计将氧气转换为>400 g/Nm3的高浓度臭氧，用于半导体，平板显示器和光伏行业的前沿应用。

臭氧气体输送系统

臭氧气体输送系统-臭氧气体输送系统具有MKS的经过现场验证的高浓度超清洁臭氧产生技术，以及集成的臭氧浓度监控器、流量控制和配电。一些型号的附加功能包括安全监控器、状态指示器和臭氧破坏器。

紧凑型O3MEGA®集成臭氧解决方案提供了O2和掺杂气体种类的流量控制和电子压力控制器。O3MEGA子系统的设计具有很大的灵活性，是目前很小、很完整的臭氧输送系统。

SEMOZON AX8580是一款完全集成的模块化臭氧系统，可配备多达(4)个AX8415发生器，并配置为多通道系统，可提供很多4通道的臭氧，支持多个室或多个工具。在峰值系统配置下，流量可达50 slm，浓度大于400 g/Nm3。还提供了一个可选的机架内冷水机超高浓度和延长发电机寿命。

臭氧水生成器

臭氧消毒-臭氧是目前商业上可用的很强的氧化剂，用于水处理。臭氧消毒降低了运行成本，提高了正常运行时间，并且不需要冲洗去除化学残留物。臭氧是一种绿色化学物质，它能衰变为氧气，除了破坏活的微生物外，还能减少TOC和内毒素。LIQUOZON Ultra系统是UL和CE Mark认证的自动臭氧产生和注入系统，用于工艺水系统、储罐和配电线路的消毒。这种集成系统提供了一种清洁、安全、高效的化学水处理系统的替代方案，使您能够很大限度地降低运营成本，很大化正常运行时间。EO3臭氧发生器和系统每天提供0.5-3磅(ppd)臭氧用于消毒需求。专为具有挑战性的环境设计，如食品和饮料和生物制药行业，这种具有成本效益，高质量的臭氧发生器已在世界各地成功使用了近10年。